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De gaz d'UHP l'oxygène de mélanges de gaz de la spécialité O2 et CF4 avec le fabricant de mélange de Tetrafluoromethane

Informations de base
Lieu d'origine: La Chine
Nom de marque: Newradar Gas
Certification: ISO/DOT/GB
Numéro de modèle: NON-DÉTERMINÉ
Quantité de commande min: 1000 litres
Prix: negotiation
Détails d'emballage: 10kg, 40kg ou 50kg emballés dans le cylindre de gaz qualifié ou emballés selon les exigences
Délai de livraison: 15-25 jours ouvrables ont ensuite reçu votre paiement
Conditions de paiement: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacité d'approvisionnement: mètre cube 3,00 par mois
Détail Infomation
Application: processus de la lithographie 248nm et mélangé à de l'halogène utilisant les gaz mélangés CF4: tetrafluoromethane
L'ONU aucun: 1982 L'oxygène: O2
Paquet :: cylindres en acier sans couture D'autres noms: Mélange de tétrafluorure de carbone de l'oxygène
Aspect :: Gaz sans couleur Volume de cylindres :: 10L, 25L, 40L ou 50L
Norme de catégorie: Catégorie de catégorie d'électron Toxique: Non-toxique
Surligner:

gaz de spécialité de liquide d'air

,

gaz spéciaux


Description de produit

 

De gaz d'UHP l'oxygène de mélanges de gaz de la spécialité O2 et CF4 avec le fabricant de mélange de Tetrafluoromethane

 

Description :

 

Etch.control anisotrope. D'autres halocarbures, aussi bien que la présence d'air ou d'oxygène, portent préjudice au contrôle des résultats de theTetrafluoride dans le contrôle supérieur du processus, qui a comme conséquence meilleur dimensionnel et le profil. Une plus grande pureté Carbonor CF2conditions, les radicaux libres de fluor sont typiquement sous forme de tétrafluorure de CF3Carbon est relativement inerte dans des conditions normales et est un agent asphxyiant. Sous des plasmaprocesses de rf. Le tétrafluorure de carbone est employé avec l'oxygène pour graver à l'eau-forte le polysilicium, le silice, et le nitrure de silicium. Le tétrafluorure de carbone est une source des radicaux libres de fluorure de fluor ou de carbone utilisés dans un grand choix de gravure à l'eau forte de gaufrette

 

 

Caractéristiques :

 

1. Propriétés physiques

 

Major Components
COMPOSANTS CONCENTRATION GAMME
O2 20 % 19.9-20.1%
CF4 Équilibre  

 

 

 

 

 

 

2. données techniques typiques (COA)

 

Impuretés maximum
COMPOSANTS CONCENTRATION (page par minute)
Dioxyde de carbone (CO2) <1>
Oxyde de carbone (Co) <1>
Humidité (H2O) <0>
Azote (N2) <10>
L'oxygène (O2) <5>
THC (comme méthane) (CH4) <0>
D'autres halocarbures <1>
Hexafluorure de soufre <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Cylindre Specifications* Contenu Pression
Cylindre Options de débouché de valve Livres Psig BARRE
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

 

Applications :

 

1

 Tetrafluoromethane est parfois employé comme réfrigérant de basse température.

 

2

 Il est employé dans seul le microfabrication de l'électronique ou en combination avec l'oxygène comme plasma etchant pour le silicium, le silice, et le nitrure de silicium.

 

3

 Il a également des utilisations dans des détecteurs de neutrons

 

 

Coordonnées
Vicky Liu

Numéro de téléphone : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861